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高端电子工艺装备

【1】集成电路装备

产业介绍:电控公司的集成电路装备以七星电子(北方微)(A股代码:002371)为载体,借助上市平台和国家重大科技专项加快产业发展,产品以集成电路设备为主,并结合市场需求向光伏、先进封装、LED、MEMS、光波导、功率器件和化合物半导体等应用领域拓展。七星电子(北方微)先后承担11项国家重大科技02专项,技术水平快速提升,填补了国内12英寸高端刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、清洗机等设备技术空白,大部分产品实现了28nm的产业化认证,刻蚀机、PVD已开始14nm技术的研发。 

12英寸(cun)28nm刻(ke)蚀(shi)机、PVD、氧(yang)化炉等设备均已进入了国内知名集成电路制造企业(ye)大生产线,多款产品已成为LED、先进封装、MEMS等泛半导体领的主流产品,市场(chang)开(kai)拓工作(zuo)(zuo)成效显著。其中(zhong)12英寸(cun)、28nmHardMask PVD设备及12英寸(cun)55nm硅刻(ke)蚀(shi)设备已作(zuo)(zuo)为中(zhong)芯国际的Baseline设备。

重要产品:刻蚀设备(Etch)、化学气相沉积设备(CVD)、物理气相沉积设备(PVD)立式炉、LPCVD、超精细清洗机、ALD设备。 

 

【2】锂电装备

北京电控可提(ti)供(gong)全(quan)套的锂离子电池极片生产所需的搅拌、涂布、辊压、分(fen)切设备。

 

成功(gong)(gong)研制(zhi)(zhi)大容量(liang)的(de)(400L、600L、800L、1000L、2000L)搅拌(ban)设(she)(she)备,已掌(zhang)握(wo)自(zi)动上料(liao)技(ji)术(shu)、搅拌(ban)过程程序化(hua)控制(zhi)(zhi)、搅拌(ban)料(liao)评价(jia)等(deng)技(ji)术(shu);成功(gong)(gong)开(kai)发出(chu)了挤(ji)出(chu)式(shi)涂布(bu)设(she)(she)备,涂布(bu)速度10-20m/min(最(zui)高达到30m/min)。成功(gong)(gong)开(kai)发出(chu)了液(ye)(ye)压(ya)伺服(fu)辊(gun)压(ya)设(she)(she)备,极片(pian)轧制(zhi)(zhi)速度达到20-30m/min(最(zui)高达到60m/min),掌(zhang)握(wo)了极片(pian)热(re)轧技(ji)术(shu)、辊(gun)电镀技(ji)术(shu)、AGC液(ye)(ye)压(ya)伺服(fu)控制(zhi)(zhi)型等(deng)核心技(ji)术(shu)。

 

分切设(she)备(bei)可分切卷材宽度达700mm,生产(chan)效率达到50m/min(最高(gao)水平达到80m/min),并开发了(le)(le)设(she)备(bei)CCD测控(kong)系统降低了(le)(le)产(chan)品(pin)废品(pin)率。于(yu)此同(tong)时,成功的(de)搭(da)建了(le)(le)20000Ah锂离子动力(li)电池(chi)中试线,为自(zi)产(chan)设(she)备(bei)提(ti)供(gong)了(le)(le)工艺验证平台,具(ju)备(bei)提(ti)供(gong)整(zheng)线解决方案的(de)能力(li)。